08.09.2026
Уплотнения без фторсодержащих веществ
Trelleborg Sealing Solutions выпустила линейку материалов без фторсодержащих поверхностно‑активных веществ для производства полупроводников.
На фоне ужесточения регулирования и стремления производителей сократить использование пер‑ и полифторалкильных веществ (PFAS) из‑за их потенциального вреда для здоровья и экологии компания добавила в линейку PureFab® три новых материала без фторсурфактантов.
Крис Басби, глобальный директор сегмента «Полупроводники», отметил: новые высокотемпературные материалы — два перфторэластомера (FFKM) JPF50 и JPF58 и фторэластомер (FKM) VPF20 — не содержат низкомолекулярных PFAS‑фторсурфактантов. Они позволяют клиентам снизить регуляторные риски и укрепить цепочку поставок, не теряя в эксплуатационных характеристиках. Компания предлагает заинтересованным клиентам образцы для тестирования.
JPF50 — высокочистый FFKM для процессов осаждения (PECVD, HDPCVD, PEALD) и травления (ALE, сухое травление). Материал отличается крайне низким газовыделением и минимальной эмиссией частиц, выдерживает температуры до +300 °C, снижает риски загрязнения и повышает выход продукции. Подходит для уплотнений крышек камер, газовых вводов и дверей щелевых клапанов.
JPF58 — FFKM для экстремальных температур: сохраняет стабильность до +300 °C, устойчив к растрескиванию при высоких механических и термических нагрузках, сохраняет форму при длительной работе под нагрузкой. Применяется в высокотемпературных процессах (RTP, ALD, CVD, диффузионные печи), для уплотнений кварцевых труб, камер, дверей печей, фланцев и центрирующих колец.
VPF20 — высокочистый фторэластомер (FKM) без фторсурфактантов, с синтетическими наполнителями высокой чистоты. Минимизирует металлические загрязнения и ионные примеси, отличается прочностью, эластичностью и химической стойкостью. Более экономичная альтернатива FFKM для сред с умеренными температурами и средними химическими нагрузками. Подходит для модулей перемещения, загрузочных шлюзов, EFEM, вакуумных систем, оборудования для производства плоских дисплеев и задач, где стандартные FKM могут стать источником загрязнений.
Первоисточник: Trelleborg launches fluorosurfactant-free semiconductor | Trelleborg Sealing Solutions
Крис Басби, глобальный директор сегмента «Полупроводники», отметил: новые высокотемпературные материалы — два перфторэластомера (FFKM) JPF50 и JPF58 и фторэластомер (FKM) VPF20 — не содержат низкомолекулярных PFAS‑фторсурфактантов. Они позволяют клиентам снизить регуляторные риски и укрепить цепочку поставок, не теряя в эксплуатационных характеристиках. Компания предлагает заинтересованным клиентам образцы для тестирования.
JPF50 — высокочистый FFKM для процессов осаждения (PECVD, HDPCVD, PEALD) и травления (ALE, сухое травление). Материал отличается крайне низким газовыделением и минимальной эмиссией частиц, выдерживает температуры до +300 °C, снижает риски загрязнения и повышает выход продукции. Подходит для уплотнений крышек камер, газовых вводов и дверей щелевых клапанов.
JPF58 — FFKM для экстремальных температур: сохраняет стабильность до +300 °C, устойчив к растрескиванию при высоких механических и термических нагрузках, сохраняет форму при длительной работе под нагрузкой. Применяется в высокотемпературных процессах (RTP, ALD, CVD, диффузионные печи), для уплотнений кварцевых труб, камер, дверей печей, фланцев и центрирующих колец.
VPF20 — высокочистый фторэластомер (FKM) без фторсурфактантов, с синтетическими наполнителями высокой чистоты. Минимизирует металлические загрязнения и ионные примеси, отличается прочностью, эластичностью и химической стойкостью. Более экономичная альтернатива FFKM для сред с умеренными температурами и средними химическими нагрузками. Подходит для модулей перемещения, загрузочных шлюзов, EFEM, вакуумных систем, оборудования для производства плоских дисплеев и задач, где стандартные FKM могут стать источником загрязнений.
Первоисточник: Trelleborg launches fluorosurfactant-free semiconductor | Trelleborg Sealing Solutions